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MKS GE50A质量流量计


产品介绍
       GE50A是一种通用型弹性密封的质量流量计,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,可重复性要求高的场合。配上压力计,它还可以作为压力计使用。
       对于当今市场上的质量流量计,GE50A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使GE50A能够直接进行安装而不需要改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的百分之一。

技术参数
       全量程:10SCCM、20SCCM、50SCCM、100SCCM、200SCCM、500SCCM、1000SCCM、2000SCCM、5000SCCM、10000SCCM、20000SCCM。
       控制量程:百分之2~100的全量程。
       测量精度:全量程的百分之1
       灵敏度:全量程的百分之0.1
       热机时间:小于2min
       响应速度:小于2sec
       输入电压:±15VDC
       输出电压:0-5VDC
       连接器:模拟:9Pin或15Pin或20Pin;数字:RS485或Device net或Profibus
       法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4等
       材质:316不锈钢

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