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SEC-8000F高温质量流量计


概要
       SEC-8000F/D系列,可以在高温环境下工作,实现洁净状况下的小流量的分析与控制,能够符合复杂多变的半导体制程需求。

特征
       具备数字式流量计的精度性能、高控制精度:正负百分之一的设定流量
       响应速度快
       洁净处理
       符合RoHS环境标准

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