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SEC-E400J质量流量计


概要
       作为增加生产的因素、制造设备的小型化等正日益受到关注。这些要求对气体供给系统,也就是被称为关键设备的质量流量计来说有很紧密的联系。而批量使用搭载了在成本表现方面好的电磁阀的质量流量计,则可符合制程要求。

特征
       采用金属避风垫圈
       可对应腐蚀性气体
       搭载异常报警功能
       警报输出功能为其标准搭载

规格
       SEC-E400J
       气体连接部材质:SUS-316L,Teflon
       磁性不锈钢材质阀形式:非通电时,闭标准
       流量范围:5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
       流量控制范围:百分之二以上的FS(全量程)
       流量精度:正负百分之一的FS(全量程)
       SEC-E450J
       气体连接部材质:SUS-316L,Teflon
       磁性不锈钢材质阀形式:非通电时,闭标准
       流量范围:20/30 SLM
       流量控制范围:百分之二以上的FS(全量程)
       流量精度:正负百分之一的FS(全量程)

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